ICS77.120.99 H65 XB 中华人民共和国稀土行业标准 XB/T515-2020 钪铝合金靶材 Scandium-aluminium alloys targets 2020-12-09发布 2021-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 XB/T515—2020 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国稀土标准化技术委员会(SAC/TC229)提出并归口. 本标准起草单位：湖南稀土金属材料研究院有限责任公司、包头稀土研究院、国合通用测试评价认证 股份公司、有研稀土新材料股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司. 本标准主要起草人：刘荣丽、黄美松、王志坚、樊玉川、王贵超、刘华、王小青、宋冠禹、解萍、夏雯、 胡权霞、申立汉. XB/T515—2020 钪铝合金靶材 1范围 本标准规定了钪铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书. 本标准适用于铸造法和粉末冶金法制得的钪铝合金靶材，主要用于半导体及光电等领域. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GJB1580A变形金属超声检验方法 GB/T6060.1铸造表面粗糙度 GB/T6394金属平均晶粒度测定方法 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示与判定 GB/T12690.1稀土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法高频-红外吸收法测定碳、硫 量的测定高频红外吸收法 GB/T12690.4稀土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法氮氧量的测定脉冲-红外吸 收法和脉冲一热导法 GB/T17803稀土产品牌号表示方法 XB/T4022016钪铝合金 3要求 3.1产品分类 产品按化学成分分为ScA1-30、ScA1-20、ScA1-15、ScA1-8四个牌号，产品牌号表示方法应符合GB/T 17803的规定. 3.2化学成分 产品的化学成分应符合表1的规定.需方如有特殊要求，供需双方可另行协商. 表1化学成分 产品牌号 ScAl-30 ScAl-20 ScAl-15 ScAl-8 Sc 30士0.5 20士0.5 15士0.5 8士0.5 化学成分 Al 余量 余量 余量 余量 (质量分数) 稀土杂质含量 0.0030 0.0020 0.0015 0.0010 /% 杂质含量， Fe 0.0060 0.0040 0.0030 0.0020 不大于 Si 0.0030 0.0020 0.0015 0.0010 1 ...
XB/T 515-2020 钪铝合金靶材.pdf
