JJF 1100-2016 平面等厚干涉仪校准规范 高清完整版.pdf

可可F 中华人民共和国国家计量技术规范 JJF1100—2016 平面等厚干涉仪校准规范 Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers 2016-11-30发布 2017-05-30实施 国家质量监督检验检疫总局发布 JJF1100-2016 平面等厚干涉仪校准规范 JJF1100—2016 Calibration Specification for 代替JJF1100—2003 Flat Equal Thickness Interferometers 归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会 主要起草单位：中国测试技术研究院 中国计量科学研究院 参加起草单位：中国科学院光电技术研究所 中测测试科技有限公司 本规范委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释 JJF1100-2016 本规范主要起草人： 冉庆（中国测试技术研究院） 张恒（中国计量科学研究院） 赵小萍（中国测试技术研究院） 康岩辉（中国计量科学研究院） 参加起草人： 吴时彬（中国科学院光电技术研究所） 徐德宇（中国测试技术研究院） 卿光亚（中测测试科技有限公司） ...