ICS71.060.50 G12 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T30901-2014 高纯氟化铵溶液 High purity ammonium fluoride solution for industrial use 2014-07-08发布 2014-12-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T30901-2014 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由中国石油和化学工业联合会提出. 本标准由全国化学标准化技术委员会无机化工分会(SAC/TC63/SC1)归口. 本标准起草单位：浙江凯恒电子材料有限公司、福建省邵武市永飞化工有限公司、鹰鹏集团/宣城亨 泰化工科技有限公司、巨化集团技术中心、山东兴氟新材料有限公司、中海油天津化工研究设计院、国家 无机盐产品质量监督检验中心. 本标准主要起草人：田志扬、赵晓亚、万群平、林益兴、张红英、周鹏鹏、郭凤鑫、王芳. GB/T30901-2014 高纯氟化铵溶液 1范围 本标准规定了高纯氟化铵溶液的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和 安全. 本标准适用于高纯氟化铵溶液.该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀 刻等行业. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T191一2008包装储运图示标志 GB/T6678化工产品采样总则 GB/T6680液体化工产品采样通则 GB/T6682一2008分析实验室用水规格和试验方法 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T23769一2009无机化工产品水溶液中H值测定通用方法 GB/T23770一2009液体无机化工产品色度测定通用方法 HG/T3696.1无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第1部分：标准滴定溶 液的制备 HG/T3696.2无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第2部分：杂质标准溶 液的制备 HG/T3696.3无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第3部分：制剂及制品 的制备 3分子式和相对分子质量 分子式：NHF. 相对分子质量：37.04（按2011年国际相对原子质量）. 4分级 高纯氟化铵溶液按用途分为两个等级： 一UP-S级：主要用于线宽为0.2μm以上集成电路的清洗与蚀刻； 一UP-SS级：主要用于线宽为0.09μm~0.2μm集成电路的清洗与蚀刻. 5要求 5.1外观：无色透明液体. ...
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