JJG 中华人民共和国国家计量检定规程 JJG28—2019 平 晶 Optical Flats 2019-09-27发布 2020-03-27实施 国家市场监督管理总局发布 JJG28-2019 目 录 引言 (Ⅱ) 1范围 () 2引用文件 (1) 3概述 (1) 4计量性能要求 (3) 4.1平行度 (3) 4.2工作面平面度(3) 4.3非工作面的平面度(4) 4.4稳定性 (4) 5通用技术要求 (5) 5.1外观及表面质量 .(5) 5.2外形尺寸 (5) 5.3长平晶十字刻线位置 (6) 5.4两端面夹角 (6) 5.5工作面与圆柱母线的垂直度(7) 6计量器具控制 (7) 6.1检定项目和主要检定设备 (7) 6.2检定条件 (7) 6.3检定方法 (9) 6.4检定结果处理 (12) 6.5检定周期 (12) 附录A平晶表面疵病的尺寸及数量 (13) 附录B相移式激光等厚干涉测量法 (15) 附录C等厚干涉测量法 (18) 附录D等倾干涉测量法 (20) 附录E四面互检法检定长平晶数据处理示例(22) 附录F长平晶自重变形量 (25) 附录G检定证书和检定结果通知书内页格式 (27) JJG28-2019 引言 JJF1001一2011《通用计量术语及定义》、JJF1002一2010《国家计量检定规程编写 规则》、JJF1059.1一2012《测量不确定度评定与表示》共同构成本规程修订工作的基 础性系列技术法规. 本规程与JJG28一2000《平晶》相比，除编辑性修改外，主要技术变化如下： —更正了JJG28一2000《平晶》的印刷错误： JJG28-20006.3.8.2b)中式(6)：u2 u1 更正为：ub 5 =12 ua[见现版 式(5)]； JJG28一2000附录C中表C.1的表头第8列：E:=(L:/Ln)Kn 更正为：E:= (L/L)△K (见现版表E.1); d JJG282000附录D中式(D.2):△F XF96 更正为：△F = d 2 96 96 XF96 [见现版式(C.2)]. —310mm长平晶两次周期检定平面度之差从0.020um放宽为0.030um(见 4.4). —依据JG146一2011《量块》，取消了6等量块，改用5等量块（见6.3.2）. 一取消了平行平晶平行度在激光平面等厚干涉仪上检定的方法. 一增加相移式等厚测量装置的结构概述、测量方法（见附录）等相关内容. 一增加标准平晶F6范围内的平面度计算方法（见附录C) 本规程的历次版本发布情况： —JJG28—2000; —JJG28—1991; ——JJG28—1980. Ⅱ ...
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