扫描电子显微镜 试行检定规程 JJG550—88 Verification Regulation of Scanning Electron Microscope (进为市 本检定规程经国家计量局于1988年3月22日批准，并自1989 年2月1日起施行. 归口单位：上海市标准计量管理局 起草单位：，上海市测试技术研究所 本规程技术条文由起草单位负责解释. 资显子甲游 本规程主要起草人： 88-张训彪 (上海市测试技术研究所) 参加起草人： 丁听生 (上海市测试技术研究所) 胡容明 (上海市测试技术研究所) 尹军 (上海市测试技术研究所) e8e自，华HS5B8er 市场监管总局 取青激都游粥土分单口 丽过粉市衡：分单家 JJG550-88 381 共11页第1页 扫描电子显微镜试行检定规程 本规程适用于新制造、使用中和修理后的扫描电子显微镜的检定、 一概述 扫描电子显微镜（简称扫描电镜）适用于观察样品的显微形貌， 测量微小物体的尺寸. 扫描电镜主要由电子光学系统、信号接收放大显示系统、真空系 统和供电系统等部分组成. 一经过电子光学系统聚焦的电子束在样品表面上扫描，受照射的部 位发射的二次电子信号经接收放大后，用来调制显象管荧光屏的亮度， 显示出样品放大的象. 二技术要求 扫描电镜按其性能分为简易型、普通型、精密型三个等级，各个 等级的扫描电镜的技术要求如下： 1直观要求 1 1仪器应无影响计量性能的损伤，面板上的标记应清晰，导线 接头应有标记，装配应牢固；应标明生产厂名、制造日期、出厂编号等 1.2可调部分调节应正常；显示和摄影系统应正常；安全措施应 有效. 1.3加速电压应正常， 2真空度要求 2.1工作真空度 简易型 优于5×10-Pa 普通型 优于-1x10-Pa 糖密型 优于5x10-Pa ...
正式版 JJG 550-1988 扫描电子显微镜试行检定规程.pdf
