JJF 1613-2017 掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范.pdf

JJF 中华人民共和国国家计量技术规范 JJF1613—2017 掠入射X射线反射膜厚测量仪器 校准规范 Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity 2017-02-28发布 2017-05-28实施 国家质量监督检验检疫总局发布 JJF1613-2017 掠入射X射线反射膜厚测量仪器 校准规范 JJF1613—2017 Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity 归口单位：全国新材料与纳米计量技术委员会 主要起草单位：中国计量科学研究院 参加起草单位：常州市计量测试技术研究所 本规范委托全国新材料与纳米计量技术委员会负责解释 JJF1613-2017 目录 引言 (Ⅲ) 1范围 (1) 2引用文件 (1) 3概述 .(1) 4计量特性 (1) 4.1仪器20角示值误差及重复性 (1) 4.2膜厚测量示值误差 (1) 4.3膜厚测量重复性(1) 5校准条件 (1) 5.1环境条件 (1) 5.2测量标准及其他设备 (2) 6校准项目和校准方法 (2) 6.1校准项目(2) 6.2校准方法 (2) 7校准结果表达 (3) 8复校时间间隔 .(3) 附录A仪器膜厚测量示值误差的不确定度评定示例(4) 附录B校准记录格式 (7) 附录C校准证书（内页）格式 (9) I ...