GB/T 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法.pdf

ICS31.200 L55 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法 Micro-electromechanical system technology- Test methods for tensile property measurement of strip thin films 2020-03-06发布 2020-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T38446—2020 目 次 前言 工 1范围 2规范性引用文件 1 3术语和定义 1 4试验方法 2 5数据处理4 附录A(资料性附录)采用MEMS工艺的样品制备5 附录B(资料性附录)对准偏差和几何结构对性能测试的影响 7 附录C(资料性附录)纳米压痕仪的测试结果误差及补偿 9 参考文献 10 GB/T38446—2020 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口. 本标准起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、无锡华润上华科技 有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司. 本标准主要起草人：张威、李海斌、张亚婷、朱悦、夏长奉、石云波、陈得民、马书螂、程红兵、周浩楠. I ...