ICS31.200 L55 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法 Micro-electromechanical system technology-Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration 2020-03-06发布 2020-07-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T38447-2020 目 次 前言 1范围 1 2规范性引用文件 1 3术语和定义 1 4试验方法 1 4.1总则1 4.2试验设备 1 4.3试验环境 2 4.4样品要求 2 4.5试验条件 .3 4.6试验步骤 3 4.7试验报告 4 附录A(资料性附录)集成激振和检测结构静电器件的试验示例 5 附录B(资料性附录)外部驱动和集成应变结构（检测位移）器件的试验示例8 附录C(资料性附录)基于帕里斯(Paris)定律和韦伯(Weibull)分布的脆性材料疲劳寿命理论 表达式 10 附录D(资料性附录)分析示例 13 参考文献 15 GB/T38447-2020 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口. 本标准起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术 有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司. 本标准主要起草人：张威、张亚婷、于振毅、陆学贵、朱悦、石云波、李海斌、程逸轩、周浩楠、陈得民. 571C I ...
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