ICS71.100.20 G86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T38866-2020 电子工业用二氯硅烷 Dichlorosilane for electronic industry 2020-07-21发布 2021-02-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T38866—2020 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本标准起草单位：湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限 公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江 西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试 技术研究院、联雄投资（上海）有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西 南化工研究设计院有限公司. 本标准主要起草人：丰雷、叶家爱、龚瑞、杨剑、刘畅、万烨、张园园、王春英、戴帅、谢秋琪、袁乐、 傅铸红、禹金龙、杨利、于青玉、方华、曹作斌、曲庆、陈鹰、李春华、黄辉、谭鹏程、邓远方、周鹏云、李威、 方艾黎、谭依玲. GB/T38866—2020 电子工业用二氯硅烷 1范围 本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全 的要求. 本标准适用于歧化法制备的二氯硅烷. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB190危险货物包装标志 GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB/T4842氩 GB/T5099钢质无缝气瓶 GB/T7144气瓶颜色标志 GB/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法 GB/T11446.1-2013电子级水 GB/T14193液化气体气瓶充装规定 GB15258化学品安全标签编写规定 GB/T16804气瓶警示标签 GB/T28726气体分析氨离子化气相色谱法 GB/T32566不锈钢焊接气瓶 GB/T34972电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法 TSGR0006气瓶安全技术监察规程 危险化学品安全管理条例(2002年1月26日中华人民共和国国务院令第344号公布，2011年2月 16日国务院第144次常务会议修订通过) 特种设备安全监察条例(2009版，中华人民共和国国务院令第549号) 3技术要求 二氯硅烷的技术要求应符合表1的规定. 表1技术要求 项目名称 指标 二氯硅烷(SiH2Cl2)纯度（体积分数）/10-2 ≥99.99 四氯化硅(SiCl4)含量（体积分数）/10- 25 1 ...
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