SJ/T 10583-2016 气体质量流量控制器通用技术条件.pdf

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ICS17.120.10 N12 备案号: SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T10583—2016 代替SJ/T10583—1994 气体质量流量控制器通用技术条件 General specification for gas mass flow controller 2016-04-05发布 2016-09-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 SJ/T105832016 目次 前言 III 1 范围 2 规范性引用文件. ........... 1 3 术语和单位.. 1 4 原理. 4 5 分类. 5 6 要求. 5 7 试验方法. 8 8 检验规则.. 14 9 标志、包装、运输、贮存 16 I SJ/T10583—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准代替SJ/T10583一1994《气体质量流量控制器通用技术条件》,与SJ/T10583一1994相比, 主要差异如下: ——在术语部分,修改并增加部分术语: —新增产品的原理和应用: —一在技术性能要求部分,新增产品的 推中部分技术性能要求进行了 修改: R) ——在环境条件要求部分 原标准中产品的贮存环境要求, 的电磁兼容要求; ——在试验方法部分,对原标准中部分试验方法进行了修改; 在检验规则部分 别除例行检验内容 TON 请注意本文件的某些容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由中国机械工业联合会提出 0 本标准由工业和仁化部电子业标准化研究院归口. 本标准负责起草单位:北京七华电子股份有限公司 ECH 本标准参加走草位中国计量科学研究院、京市量检测科学研究院、矽羽微机电系统有限公 司、上海工业自动化心表开究院、 省计量科学 研究院 本标准主要起草年昌华、赵迪、张琴、茂林段明、杨有寿、何艺超 立基、郭爱华、 王振. 本标准于1994年首 布,本次为第一次修订. IW STANDARDS II ...

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