ICS77.040 H21 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法 Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates- Raman spectrum method 2018-09-17发布 2019-06-01实施 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T36705-2018 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本标准起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中关村天 合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院、东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子 技术标准化研究院. 本标准主要起草人：郑树楠、张育民、石林、邱永鑫、王建峰、徐科、付雪涛、杨素心、丁晓民、陆敏、 杨建. I GB/T36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法 1范围 本标准规定了利用拉曼光谱测试型氮化镓衬底片载流子浓度的方法. 本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的型氮化镓衬底片载流子浓度的测试. 测试范围：1X1017cm-3~1X102cm-3. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T4326非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T14264半导体材料术语 3术语和定义 GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件. 4方法提要 在一定温度下，物质晶格中的原子各自在其平衡位置附近作微振动（晶格振动），晶格振动的能量用 声子表示.氮化镓材料中一定浓度的载流子与晶格振动相互作用，可以形成纵光学声子与载流子的耦 合模(LO phonon-plasmon coupled mode 简称LOPC) 该耦合模可以在拉曼光谱上出现低频支、高频 支(lower and upper frequency branches 常标记为LPP一和LPP)的特征峰.该特征峰的峰位随载流 子浓度的变化而改变，通过峰位的变化可计算出载流子浓度.本方法通过拉曼光谱可实现对型氮化 镓衬底片载流子浓度的微区测试，测量直径为0.7μm~2μm. 5干扰因素 5.1拉曼光谱常用来检测薄膜材料中的应力，因此需要在测试时考虑应力引入的影响.当载流子浓度 较低时（约<3X1017cm-) 以极化声子模A(LO)的峰位对载流子浓度进行计算，为了消除应力对极 化声子模A1(LO)峰位产生的影响，可采用氮化镓材料拉曼光谱中E2H峰位来标定样品的应力状态，根 据式(1)推得极化声子模A(LO)峰位因受应力影响而产生的移动： 0.8X(wE-568) WA=WA一 (1) 2.9 式中： w'n—校正过后的A1(LO)峰位值，单位为每厘米(cm-); 1 ...
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