ICS29.045 H83 中华人民共和国国家标准 GB/T36706-2018 磷化铟多晶 Polycrystallineindiumphosphide 2018-09-17发布 2019-06-01实施 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会
GB/T36706-2018 前言 本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。
本标准起草单位：南京金美业有限公司、有色金属技术经济研究院、中国电子科技集团公司第十 三研究所、广东先导稀材股份有限公司、石家庄麦特达电子科技有限公司、中国科学院半导体研究所、云 南中科鑫圆晶体材料有限公司。
本标准主要起草人：范家驿、邢志国、杨桂芳、刘文兵、李素青、王阳、李晓岚、孙聂枫、刘惠生、 赵有文、惠峰、朱刘、刘永豪。
GB/T 36706-2018 磷化铟多晶 1范围 本标准规定了磷化钢多晶的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货 单（或合同）内容。
本标准适用于生产磷化钢单晶用的磷化钢多晶。
2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件。
GB/T1423贵金属及其合金密度的测试方法 GB/T4326非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法 GB/T14844半导体材料牌号表示方法 3要求 3.1牌号 磷化钢多晶的牌号表示应符合GB/T14844的规定。
3.2电学性能 磷化钢多晶的电学性能应符合表1的规定。
表1电学性能 要求 项目 A级 B级 C级 D级 E级 载流子迁移率 cm²/（Vs) ≥4 500 ≥3500 3000 ≥2500 ≥2500 载流子浓度 ≤3×1015 ≤6×105 atoms/cm² ≤8×10 <1×10 <3×10 3.3密度 为4.548g/cm²~5.026g/cm²。
3.4外观质量 磷化钢多晶为灰色固体，表面致密、无孔洞、无富钢、无富磷。
GB/T36706-2018 3.5其他 需方如对磷化钢多品有特殊要求时，由供需双方协商确定。
4试验方法 4.1磷化钢多晶载流子迁移率和载流子浓度的测试按GB/T4326的规定进行。
4.2磷化钢多晶密度的测定按GB/T1423的规定进行。
4.3磷化钢多晶的外观质量检验用目视检查。
5检验规则 5.1检查和验收 5.1.1产品应由供方技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准和订货单（或合同）的规定，并 填写产品质量证明书。
5.1.2需方应对收到的产品进行检验，若检验结果与本标准或订货单（或合同）的规定不符时，应在收 到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决。
5.2组批 产品应成批提交检验，每批应由同一牌号、同一等级，并可追溯生产条件的磷化钢多晶组成。
5.3检验项目及取样 磷化钢多晶的检验项目及取样应符合表2的规定。
表2检验项目及取样 检验项目 取样 电学性能 在每锭磷化钢多品的凝固初始端和结束端各切一片 密度 逐锭检验 外观质量 逐锭检验 5.4检验结果的判定 5.4.1电学性能的检验结果中有任意一项不合格时，允许对该晶锭加倍数量取样，对不合格的项目进 行重复检验。
若重复检验结果仍有不合格，则判该锭产品为不合格。
5.4.2密度的检验结果不合格时，则判该锭产品为不合格。
5.4.3外观质量的检验结果不合格时，则判该锭产品为不合格。
6标志、包装、运输、贮存和质量证明书 6.1标志 6.1.1产品内包装上应贴有标签，其上标明： a）产品名称和牌号； 2
GB/T36706-2018 b）批号； c）净重； d）生产日期。
6.1.2产品外包装上应贴有标签，其上标明： a）供方名称； b）产品名称和牌号； c）批号； d）毛重、净重； e）出厂日期； f）“防潮”“禁止倒置”“轻放”等标识。
6.2包装 磷化钢多晶装人洁净的塑料袋内后，放入有凹槽的泡沫内，再置人内衬大塑料袋的纸箱内。
6.3运输和贮存 磷化钢多品在运输、贮存过程中应轻装轻卸，不得倒置和碰撞，防止破损、受潮。
6.4质量证明书 每批产品应附有质量证明书，其上注明： a）供方名称； b）产品名称和牌号； c）批号； d）净重和件数； e）分析检验结果和技术监督部门印记； f) 本标准编号； g）出厂日期（或包装日期）。
7订货单（或合同）内容 订购本标准所列产品的订货单（合同）...