ICS71.100.20 G86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T37007-2018 电子级三甲基镓 Electronic grade trimethylgallium 2018-12-28发布 2019-04-01实施 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T37007-2018 电子级三甲基镓 1范围 本标准规定了三甲基镓的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全. 本标准适用于镓镁合金法、三氯化镓法、格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基 镓.该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等. 分子式：C3H Ga 相对分子质量：114.83（按2013年国际相对原子质量计算） 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB/T6680液体化工产品采样通则 GB/T11446.1电子级水 GB12463危险货物运输包装通用技术条件 GB15258化学品安全标签编写规定 GB15603常用化学危险品贮存通则 GB50073洁净厂房设计规范 3技术要求 三甲基镓的技术指标应符合表1要求. 表1技术指标 项目 指标 三甲基镓(C3H Ga)纯度（质量分数）/10-2 ≥ 99.99995 银(Ag)含量/（μg/g) < 0.2 金属 铝(A1)含量/（μg/g) 0.1 元素 砷(As)含量/（μg/g) 0.5 及 硼(B)含量/（g/g) < 0.2 其他 元素 钡(Ba)含量/（μg/g) < 0.1 含量 铍(Be)含量/(pg/g) 0.02 铋(Bi)含量/（μg/g) 0.5 1 GB/T37007-2018 表1（续） 项目 指标 钙(Ca)含量/（μg/g) ∠ 0.03 镉(Cd)含量/(pg/g) < 0.02 钻(Co)含量/（μg/g) ∠ 0.2 铬(Cr)含量/（g/g) < 0.2 铜(Cu)含量/(ug/g) < 0.05 铁(Fe)含量/(ug/g) < 0.1 锗(Ge)含量/（μg/g) < 0.5 汞(Hg)含量/（μg/g) < 0.5 镁(Mg)含量/（μg/g) < 0.02 金属 锰(Mn)含量/（μg/g) < 0.03 元素 镍(Ni)含量/（μg/g) < 0.3 及 其他 铅(Pb)含量/（μg/g) < 1 元素 硫(S)含量/（μg/g) < 1 含量 锑(Sb)含量/（μg/g) < 0.5 硅(Si)含量/（μg/g) 0.2 锡(Sn)含量/（μg/g) < 1 银(Sr)含量/(ug/g) < 0.1 钛(Ti)含量/（μg/g) < 0.1 钒(V)含量/（μg/g) < 0.3 锌(Zn)含量/（μg/g) < 0.1 甲基峰信噪比达到50×104以上，扣除空 氧和有机杂质 白峰后未检测出甲氧基峰与有机杂质峰 即为合格 4试验方法 4.1三甲基镓纯度 三甲基镓纯度按照式(1)计算： w=100-(w1w2w3w4ws)X10-4(1) 式中： w—三甲基纯度（质量分数），10-2； w1—硅元素含量（质量分数），单位为微克每克(ug/g); w2—铜元素含量（质量分数），单位为微克每克(ug/g); ws—镁元素含量（质量分数），单位为微克每克(ug/g); w1—锌元素含量（质量分数），单位为微克每克(u...
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