ICS31-550 L95 备案号： SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11576—2016 喷雾式涂覆设备通用规范 General Specification for Spray Coating Equipment 2016-01-15发布 2016-06-01实施 SJ 中华人民共和国工业和信息化部发布 2016 SJ/T11576—2016 前言 本规范按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本规范由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(TC203)提出并归口. 本规范起草单位：沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院. 本规范主要起草人：贺立波、徐春旭、汪明波、苗涛、冯亚彬. AND OF INDUSTRY INFORMATION AHLSININ SJ STANDARDS I SJ/T115762016 引 言 本文件的发布机构提请注意，声明符合本文件时，可能涉及到5.8.5、5.8.6承片台与可旋转加热的 吸附装置内容相关的专利的使用. 本文件的发布机构对于该专利的真实性、有效性和范围无任何立场. 该专利持有人已向本文件的发布机构保证，他愿意同任何申请人在合理且无歧视的条款和条件下， 就专利授权许可进行谈判.该专利持有人的声明已在本 NFORMAT 文件的发布机构备案.相关信息可以通过以下联 系方式获得： AND 专利持有人姓名：沈阳芯源微电子设备有限公司 地址：沈阳市浑南新区飞云路16号 SJ 请注意除上述专利处本文件的某些内容仍可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利 的责任. INI STANDARDS Ⅱ ...
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