SJ/T 11598-2016 电子工业用氢化铝钠.pdf

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ICS31-030 L90 备案号: SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T115982016 电子工业用氢化铝钠 Sodium aluminum tetrahydride used in electronic industry 2016-01-15发布 2016-06-01实施 rs 中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T11598—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本标准起草单位:英利集团有限公司、六九硅业有限公司、河北大学、工业和信息化部电子工业标 准化研究院. 滕晓云、冯亚彬、张雷. OF INDUSTK AULSININ SJ STANDARDS I SJ/T11598—2016 电子工业用氢化铝钠 1范围 本标准规定了电子工业用氢化铝钠的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存以及质 量证明书和安全警告. 本标准适用于由金属钠、铝粉及氢气作用制得的溶乙二醇二甲醚 (DME)的氢化铝钠.氢化铝钠 用于制备电子工业用硅烷、还原剂和储到材专】A A 2规范性引用文件 STRY 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件. 凡是不注日期的引用文件,其最新版本包括的修改单)适用于本文件. GB190危险货物包装标志 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB/T 601 化学试剂标准滴定溶液的制备 GB/T603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T6680海体化工产品采洋通则 B/T6S分析用水规格武验 3要求 3.1外观 电子工业用氢化银钠为黑色溶液. 3.2技术要求 电子工业用氢化铝钠应符合表1的要求 WDARDS 表1技术指标 指标 项目 一等品 二等品 三等品 氢化铝钠(NaA1H4)含量 ≥16.00% ≥15.00% ≥14.00% 六氢化铝钠(Na3A1H6)含量 ≤0.10% ≤0.15% ≤0.15% 铝粉(A1)含量 ≤0.80% ≤0.90% ≤0.90% 甲苯(C7H8)含量 ≤24.00% ≤24.00% ≤24.00% 注:各物质含量均为质量分数. 4试验方法 ...

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