ICS 77.040 H21 SJ 备案号： 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11629-2016 太阳能电池用硅片和电池片的在线光致 发光分析方法 Testmethod forin-linecharacterization ofphotovoltaicsiliconwafers andcells byusingphotoluminescence 2016-04-05发布 2016-09-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布
SJ/T11629-2016 前言 本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。
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本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会（SAC/TC203/SC2）提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）归口。
本标准起草单位：中国有色金属工业标准计量质量研究所、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、浙江 本标准主要起草人：唐 金善明、黄黎。
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SJ/T 11629-2016 太阳能电池用硅片和电池片的在线光致发光分析方法 1范围 本标准规定了太阳能电池用硅片（以下简称硅片）和电池片的在线光致发光分析方法。
本标准适用于太阳能电池用硅片和电池片，在采用本标准提供的测试方法测试其他类型的样品之 前，需由供需双方协商确定。
2规范性引用文件 下列文件对于本文 必不可少的。
凡是注日期的引用文 期的版本适用于本文件。
凡是不注日期的引用 最新版本（包括的修改单）适用于） GB/T 14264 3术语和定义 GB/T 14264 期义系于本文件。
的以及下 RY 3.1 硅落silicohfill 硅片表面未贯影硅片的局部区场 MINI 4方法提要 放置在承载装置上的硅片或电池片被传送并经过成像系统，如图1历示。
用波长小于1104nm的光 源作为激发光照射硅片或电池片。
硅片或电池片体内缺陷区城主要为缺陷复合发光，而无缺陷区域主要 为本征发光，选取合适的带通滤波器，流可以通过相机获取硅片或电池片中缺陷与本征发光存在明显光 强差异的图片，再经过图像处理系统分标，我能表得所测样品的缺陷在硅片或电池片各处的分布情况， 进而对硅片或电池片进行质量监控。
常见的在线光致发光测试结果参见附录A。
SJ/T 11629-2016 感光元件 镜头和带通滤波器 激光源和光学装置 样片运动方向 样片 图1在线光致发光光路及成像系统 5干扰因素 5.1测试过程中，硅片或电池片的振动或者挪移会影响硅片或电池片成像的清晰度，从而影响光致发 光的分析结果。
5.2测试环境的温度会影响相机CCD的响应，当环境温度波动过大时，会影响相机信号稳定性，需要 将温度控制在25℃土2℃。
5.3同一硅片或电池片不同区域表面状况的不均匀变化或连续不同样品之间的表面状况变化可能会影 响测试结果，可能涉及的表面影响因素有崩边、硅落、表面沾污、翘曲和线痕等。
6仪器 6.1总则 在线光致发光分析系统一般包括成像系统、图像处理系统和计算机系统，如图2所示。
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SJ/T11629-2016 暗室 成像系统 相机 光源 图像处理系统 计算机系统 6 线光致发光分析系统结构图 6.2成像系缩 6.2.1组成 成像系统为一形室，片 、光源、相机组成。
暗室两侧各开有一狭缝，供 样片通过的 6.2.2承载装置 6.2.2.1承载装置通常采用皮带来承载并匀速传送待测样片 程中 片与皮带应保持相对静止且 6.2.2.2测试中承载装置应保持平稳，且振动榴度应小于200 6.2.3光源 6.2.3.1选用中心波长785nm<Ac<1104nm的光源，使其注入深度宜为硅片厚度的一半左右。
6.2.3.2红外光源的光经过发生器产生，并经光纤导入测试模块。
此光纤的作用在于保证在测试过程 中，没有与样片产生的光致发光处于同样波段的光从外界进入光纤。
6.2.3.3一条单色线性光的窄带会投射到样片的表面，此线性光窄带垂直于样片的行进方向，该光带 光强的半高宽度为WFWHM，投射光与样片表面夹角为α，沿着此投影光带的光强的标准偏差要小于此光 带光强平均值的10%。
6.2.3.4光源发出的光会经过带通滤波器，此带通滤波器的作用是让发生器产生的波长为入c的光顺利 通过，同时阻止与样片产生的光致发光处于同样波段的光从光纤进入成像系统。
6.2.4相机 3...
