ICS77.040 H21 备案号： SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11630—2016 太阳能电池用硅片几何尺寸测试方法 Test method for geometric dimension of silicon wafers for solar cell 2016-04-05发布 2016-09-01实施 TEOI TANDAR 2016 中华人民共和国工业和信息化部发布 S SJ/T11630—2016 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)提出. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口. 本标准起草单位：中国有色金属工业标 革质量研究所、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、浙江 省硅材料质量检验中心. ND OF INDUSTR套 本标准主要起草人：黄 金博 任姓 米专 ANLSININ SJ STANDARDS I SJ/T11630—2016 太阳能电池用硅片几何尺寸测试方法 1范围 本标准规定了太阳能电池用硅片（以下简称硅片）几何尺寸的测试方法. 本标准适用于太阳能电池用硅片几何尺寸的测试.在采用本标准提供的测试方法测试其他类型的样 品之前，应由供需双方协商. 下列文件对于本文件的RYAW 2规范性引用文件 HORMA期的版本活用 是 必不可少的.凡是注日期的引用 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于 GB/T14264 兴 导体材料术语 GB/T26071 太阳能电池果单晶切割片 GB/T29055太阳电池用多晶硅片 3术语和定义 GB/T142646B/T26071和6B/T29055界的术和定义适用于本文件. TECHNOL 4方法原理 4.1本标准采用光学成像法测量硅片的几何尺寸.由光源提供环境光，在成像系统的视场内形成边缘 明暗对比的硅片图像，开是取出硅片的边缘轮廓线.在成像系统的物距和像距固定的情况下，物体与其 像对应边长的比例也是固定的，通过对已知边长的硅片成像进而确定图像上单位像素点对应的长度，即 可根据图像上各点的坐标计第其他待测硅片的边长、对角线、邻边垂直度、倒角宽度和倒角角度等几 何尺寸参数. 4.2方形硅片几何尺寸参数的含义见GB/T29055D本标准测试的方形硅片几何尺寸参数如图1所示， 图像上各点像素坐标位置如图2所示. 4.3准方形硅片几何尺寸参数的含义见GB/T26071.本标准测试的准方形硅片的几何尺寸参数如图3 所示，图像上各点像素坐标位置如图4所示. 4.4其他类型的硅片也可按照类似的方法计算出待测的几何尺寸参数. 1 ...
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