ICS31.030 L90 备案号： SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11636—2016 电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的 测定自动电位滴定法 Determination of tetramethylammonium hydroxide in electronic industry with the developer Automatic potentionmetric titration method 2016-04-05发布 2016-09-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T11636—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则编写. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本标准起草单位：杭州格林达化学有限公司，工业和信息化部电子工业标准化研究院. 本标准主要起草人：尹云舰、王香陈玉英、周利 超叶青、裴会川. AND INFORMATION SJ STANDARDS I SJ/T11636-2016 电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定自动电位滴定法 1范围 本标准规定了用自动电位滴定法测定电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵含量的方法. 本标准适用于电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵含量的测定. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件. 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备 GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法 GB/T9725化学试剂电位滴定法通则 3方法原理 按GB/T9725规定，将规定的指示电极和参比电极浸入同一被测溶液中，在滴定过程中，参比电极 的电位保持恒定，指示电极的电位随被测物质的浓度的变化而变化.在化学计量点前后，溶液中被测物 质浓度的变化，会引起指示电极电位的急剧变化，指示电极电位的突跃点即滴定终点. 显影液中四甲基氢氧化铵的氢氧根离子与滴定剂中的氢离子反应形成水，达到等当点时溶液的pH 值约为8. 4试剂和材料 4.1实验用水 符合GB/T6682规定的三级水规格. 4.2盐酸标准溶液 本标准中所用标准滴定溶液按GB/T601规定配制： a)盐酸标准滴定溶液1：c(HC1)=0.1mo1/L; b)盐酸标准滴定溶液2：c(HC1)=1.0mol/L. 5仪器和装置 5.1自动电位滴定仪 5.1.1自动电位滴定仪主要组成：主机，加液单元和搅拌装置. 5.1.2仪器精密度： 1 ...
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