ICS31.020 L04 备案号： SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11707—2018 硅通孔几何测量术语 Terminology for through silicon via geometrical metrology 2018-02-09发布 2018-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T11707-2018 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体器件标准化技术委员会集成电路分技术委员会归口. 本标准主要起草单位：巾国电子科技集团公司第五十五研究所、天水华天科技股份有限公司、巾中国 电子科技集团公司第五十八研究所 OF INDUSTRY 本标准主要起草人：侯芳、郁 AHLSINIIN ECHNO SJ STANDARDS 900 ...
SJ/T 11707-2018 硅通孔几何测量术语.pdf
