ICS31-550 L01 备案号： SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T31083—2016 代替SJ/T31083一1994 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法 Vacuum coating equipment requirements of readiness and methods of inspection assessment 2016-01-15发布 2016-06-01实施 SJ 2016 中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T31083—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准代替并废止SJ/T31083一1994《DM一450A真空镀膜设备完好要求和检查评定方法》. 本标准与SJ/T31083一1994相比，除编辑性修改外主要技术变化如下： —标准名称“DM一450A真空镀膜设备完好要求和检查评定方法”修改为“真空镀膜设备完好要求 和检查评定方法”； —第1章中“本标准规定了DM一 型真空镀膜设备的好要米和检查评定方法”修改为“本标 准规定了真空镀膜设备 的完好要求和检查评定方 第1章中“本标准适用于DM-450A型、DM-300B型、GDM-300B型ZD-306型真空镀膜机”修改为 “本标准适用于B0700-4/G型真空镀膜设备，其他型号真空镀膜设备可参照执行”； 增加了“规范引用文件”一 在3.1中修改了设备极限真空度及抽气时间指标，增加了保压性能、单卢漏率、镀膜均匀性及 批次重复性指桥，删金了工件旋转速度离子轰击功率及能量指标； 在3.2中加了“触摸屏”的完好要求，删除了关于制动、限位装置的完好要求； 一在3.3中增加了关于动密封点的完好要求，删除了关于钟罩的完好要求； 删除了$中关于真空腔、冷却水路的表述，增加了冷泵、分子泵、真空管路、真空阀及真 空计的完要求； 在3.5中补充了各指示灯按、工控机完好要求； —在3.63中加了冷却系统的完好要求： 删除了关卡附件的完好要求； 在3.7中增加了真蜜室单独接地的要求，以及真空室门、高压部伴外面板、紧急停止按钮、危 险源点标的完好要求； —一删除了3.8中关于高压电源线和高压引线连接的表述 修改了4.1中设备极限真空度及抽气时间的检查方法 酬除 件旋转和烘烤温度的检查方法， 增加了保压特性、单点漏 镀膜均匀性及重复性的程 对4.2条中“评定方法”的描述做了修改 D 本标准由中国电子技术标准化研究院归 本标准起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集 团公司第五十四研究所. 本标准主要起草人：彭海涛、杨红伟、家秀云、蒋红旺、张岩、赵润、张世祖、周昭彤、严海若. 本标准的历次版本发布情况为： —SJ/T31083—1994. SJ/T31083—2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法 1范围 本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定方法. 本标准适用于B0C700一4/G型真空镀膜设备，其他型号真空镀膜设备可参照执行. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件. 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. SJ/T31001一2016设备完好要求和检查评定方法编写导则 SJ/T31002一2016企业设备维护保养通则 3完好要求 3.1主要技术指标 BOC700一4/G型真空镀膜设备的主要技术指标有： a)极限真空度<1x10Pa; b)抽气时间：由大气压抽到<1x103Pa的时间应≤20min; ...
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