GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法.pdf

ICS29.045 H83 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法 Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers-Chemically etching 2014-07-24发布 2015-02-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 中华人民共和国 国家标准 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法 GB/T30868—2014 米 中国标准出版社出版发行 北京市朝阳区和平里西街甲2号(100029) 北京市西城区三里河北街16号(100045) 网址.spc.net.cn 总编室：(010)64275323发行中心：(010)51780235 读者服务部：(010)68523946 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷 各地新华书店经销 开本880×12301/16印张0.5字数10千字 2014年9月第一版2014年9月第一次印刷 * 书号：1550661-49957定价14.00元 如有印装差错由本社发行中心调换 ：(010)68510107 GB/T30868-2014 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC2)共同提出并归口. 本标准起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院. 本标准主要起草人：丁丽、周智慧、郝建民、蔺娴、何秀坤、刘筠、冯亚彬、裴会川. I ...