ICS77.040.99 H21 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T31353—2014 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法 Test methods for bow of sapphire st:ostrates 2014-12-31发布 2015-09-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T31353—2014 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本标准起草单位：江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、 北京合能阳光新能源技术有限公司. 本标准主要起草人：薛抗美、魏明德、黄修康、杭寅、林清香、肖宗杰. I GB/T31353-2014 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法 1范围 本标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片（以下简称蓝宝石衬底片）弯曲度的测试方法. 本标准适用于直径50.8mm~304.8mm 厚度为不小于200μm的蓝宝石衬底片弯曲度的测试. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T6619硅片弯曲度测试方法 GB/T14264半导体材料术语 3术语和定义 GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件. 3.1 弯曲度bow 自由无夹持晶片中位面的中心点与中位面基准平面间的偏离， 3.2 中位面基准平面median surface reference plane 由指定的小于晶片标称直径的直径圆周上的3个等距离点决定的平面. 4方法提要 4.1接触式测试 将蓝宝石衬底片放置在基准环的3个支点上，3支点形成一个基准平面，利用低压力位移指示器测 试蓝宝石衬底片中心点偏离基准平面的距离，翻转衬底片，重复测试.两次测试值之差的一半表示衬底 片的弯曲度. 4.2非接触式测试 将蓝宝石衬底片放置在基准环的3个支点上，3个支点形成一个基准平面，利用非接触式位移传感 器测试蓝宝石衬底片中心点偏离基准平面的距离，翻转衬底片，重复测试.两次测试值之差的一半表示 衬底片的弯曲度. 4.3白光干涉式测试 激光照射蓝宝石衬底片表面，光经过反射相互叠加干涉，干涉图经光学成像系统记录，开始高低形 貌测试；物镜在乙轴方向上不断微小的移动，在每个移动位置上，光学成像系统进行拍照收集图片，形 1 ...
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