ICS29.045 H83 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T35305-2017 太阳能电池用砷化镓单晶抛光片 Monocrystalline gallium arsenide polished wafers for solar cell 2017-12-29发布 2018-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T35305-2017 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本标准起草单位：云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、云南中科鑫圆晶体材料有限公司、中国科学院 半导体所. 本标准主要起草人：惠峰、普世坤、吕春富、董汝昆. I GB/T35305-2017 太阳能电池用砷化镓单晶抛光片 1范围 本标准规定了太阳能电池用砷化镓单晶抛光片的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、 贮存和质量证明书. 本标准适用于太阳能电池用砷化镓单晶抛光片（以下简称砷化镓抛光片）. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T6618硅片厚度和总厚度变化测试方法 GB/T6619硅片弯曲度测试方法 GB/T6620硅片翘曲度非接触式测试方法 GB/T6621硅片表面平整度测试方法 GB/T6624硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T13387硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法 GB/T14264半导体材料术语 GB/T19921硅抛光片表面颗粒测试方法 GB/T25075太阳能电池用砷化镓单晶 GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级 GB/T29505硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法 YS/T26硅片边缘轮廓检验方法 3术语和定义 GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件. 4要求 4.1分类 4.1.1砷化镓抛光片按导电类型分为N型和P型两种. 4.1.2砷化镓抛光片按直径大小分为50.8mm、76.2mm、$100.0mm三种. 4.2理化及电学性能 砷化镓抛光片的电阻率、载流子浓度、晶向及晶向偏离度、位错密度应符合GB/T25075的规定. 4.3几何参数 砷化镓抛光片的几何参数应符合表1的规定. 1 ...
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