ICS71.100.20 G86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T14602—2014 代替GB/T14602-1993、GB/T24469-2009 电子工业用气体氯化氢 Gases for electronic industry-Hydrogen chloride 2014-12-22发布 2015-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T14602-2014 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准代替GB/T14602一1993《电子工业用气体氯化氢》、GB/T24469一2009《电子工业用气体5N 氯化氢》.与GB/T14602一1993、GB/T24469一2009相比，除编辑性修改外主要技术变化如下： —修改了范围（见第1章，1993年版的第1章、GB/T24469—2009的第1章）； —修改了规范性引用文件（见第2章，1993年版的第2章、GB/T24469—2009的第2章）； —修改了技术要求（见第3章，1993年版的第3章、GB/T24469—2009的第3章）； —修改了抽样、判定（见4.1 1993年版的第5章、GB/T24469—2009的第5章）； —修改了氧氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃含量的测定方法（见4.3 1993年版的4.2、4.3、 GB/T244692009的4.3、4.5)； 一删除了氢含量的测定方法（见1993年版的4.5）； —修改了水分含量的测定方法（见4.4 1993年版的4.4、GB/T24469—2009的4.4）； —修改了金属元素含量的测定方法（见4.5，GB/T24469一2009的4.6）； —修改了标志、包装、贮运及安全（见第5章，1993年版的第6章、第7章、GB/T24469一2009的 第6章、第7章、第8章). 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本标准起草单位：北京华宇同方化工科技开发有限公司、西南化工研究设计院有限公司、佛山市华 特气体有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟科技有限 公司. 本标准主要起草人：张吉瑞、孙福楠、杜汉盛、方华、周鹏云、杨任. 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： —GB/T14602-1993、GB/T24469-2009. I GB/T14602-2014 电子工业用气体氯化氢 1范围 本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全. 本标准适用于以工业氯化氢为原料，采用纯化制得的氯化氢产品.该产品主要用于微电子工业中 气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研 究等领域. 分子式：HC1. 相对分子质量：36.458（按2009年国际相对原子质量计算）. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB5099钢质无缝气瓶 GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法 GB7144气瓶颜色标志 GB14193液化气体气瓶充装规定 GB15258化学品安全标签编写规定 GB16804气瓶警示标签 GB/T26571特种气体储存期规范 GB/T28726一2012气体分析氮离子化...
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