ICS71.100.20 G86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T18867—2014 代替GB/T188672002 电子工业用气体六氟化硫 Gases for electronic industry-Sulphur hexaflouride 2014-12-22发布 2015-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T18867-2014 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准代替GB/T18867一2002《电子工业用气体六氟化硫》.与GB/T18867一2002相比，除编 辑性修改外主要技术变化如下： 一修改了范围（见第1章，2002年版的第1章）； 一-修改了规范性引用文件（见第2章，2002年版的第2章）； 一一修改了技术指标（见第3章，2002年版的第3章）； 一修改了抽样、判定和复验（见4.1 2002年版的第5章）； 一修改了氧十氩、氮、四氟化碳、二氧化碳含量的测定方法（见4.3 2002年版的4.2、4.3）； -一删除了六氟乙烷、八氟丙烷含量的测定方法（见2002年版的4.4）； 一一增加了一氧化碳和甲烷含量的测定方法（见4.3）； 一-修改了水分含量的测定方法（见4.4 2002年版的4.5）； —一修改了标志、包装、贮运及安全（见第5章，2002年版的第6章）. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本标准起草单位：黎明化工研究设计院有限责任公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、青海信禾高 精化工有限公司、佛山市华特气体有限公司、四川众力氟业有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限 公司、大连大特气体有限公司、四川中测标物科技有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、光明化工研究 设计院、上海基量标准气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、核工业理化工程研究院华核新技 术开发公司. 本标准主要起草人：黄晓磊、牛学坤、赖明贵、傅涛、刘长庆、任清贵、史淑慧、方正、廖恒易、李晓明、 曲庆、杨任、常侠、杨遂平、邓建平、方华、周鹏云. 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： —GB/T18867—2002. I GB/T18867-2014 电子工业用气体六氟化硫 1范围 本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等. 本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫.该产品主要用作电子工业中化学 气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等. 分子式：SFs. 相对分子质量：146.0564192（按2007年国际相对原子质量计算）. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB5099钢质无缝气瓶 GB/T5832.1气体湿度的测定第1部分：电解法 GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法 GB7144气瓶颜色标志 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T12022工业六氟化硫 GB14193液化气体气瓶充装规定 GB15258化学品安全标签编写规定 GB16804气瓶警示标签 GB/T26571特种气体储存期规范 GB/T28726一2012气体分析氮离子化气相色...
GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫.pdf
