ICS31.550 L95 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T29845-2013 半导体制造设备的最终装配、包装、运输、 拆包及安放导则 Guide for final assembly packaging transportation unpacking and relocation of semiconductor manufacturing equipment 2013-11-12发布 2014-04-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T29845-2013 目次 前言 1范围 1 2规范性引用文件 3缩略语 4清洁和包装材料 】 5装配和预包装程序 2 6三层包装 2 7包装程序3 8装箱程序 3 9包装和固定程序 4 10监控设备安装程序 5 11标记和标签 5 12装箱单 6 13运输 6 14卸载、拆箱和搬运 6 15检查 7 GB/T29845-2013 半导体制造设备的最终装配、包装、运输、 拆包及安放导则 1范围 本标准给出了半导体制造设备(SME)在供应商工厂的最终装配（总装）、包装、运输以及在客户洁 净室生产区的拆包和安放等特定活动指南. 本标准适用于半导体制造设备、独立的组件和部件在供应商工厂的最终装配（总装）、包装和运输以 及从客户装货码头/接收区到高纯和超高纯应用的洁净室生产区的转移过程. 本标准不包含与环境、健康和安全(EHS)相关的特殊要求，也不适用于与晶片粒子或晶片质量（如 离子污染度)相关的加工过程规范. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级 SEMI C4l2-丙醇的规范和指南(Specification and Guidelines for2-propanol) SEMI F63半导体加工用超纯水指南(Guidelines for Ultrapure Water Used in Semiconductor processing) 3缩略语 下列缩略语适用于本文件. APA:美国工程木材协会(the engineered wood association) EPS:发泡聚苯乙烯(expanded polystyrene) IPA:异丙醇(isopropyl alcohol) SME:半导体制造设备(semiconductor manufacturing equipment) UPW:超纯水(ultrapure water) 4清洁和包装材料 对于清洁和三层包装，建议使用下列材料： —UPW(参见SEMI F63); 一IPA(参见SEMI C41); 一一具有超低的颗粒产生，超低的离子析出水平，聚酯材料的，GB/T25915.1中ISO5级洁净室允 许的棉签和带封边的擦拭巾； —一具有超低的颗粒产生，超低的离子析出水平，无碳氢化合物的，约150μm厚的天然聚乙烯 薄膜； 一具有超低的颗粒产生的胶带. 1 ...
GB/T 29845-2013 半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则.pdf
