ICS31.140 L21 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T30118-2013 声表面波(SAW)器件用单晶晶片 规范与测量方法 Single crystal wafers for surface acoustic wave (SAW)device applications- Specifications and measuring methods (IEC62276:2005 MOD) 2013-12-17发布 2014-05-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T30118-2013 目 次 前言 1范围 1 2规范性引用文件 .1 3术语和定义 4技术要求 6 4.1材料 6 4.2晶片 .6 5抽样 10 5.1概述 10 5.2抽样 .10 5.3抽样方案 10 5.4全数检验 10 6检验方法 10 6.1直径 10 6.2厚度 11 6.30F长度 11 6.4OF方向 11 6.5 TV5 11 6.6翘曲度11 6.7 TTV 11 6.8晶片正面缺陷 .11 6.9 包裹体 11 6.10背面粗糙度 11 6.11晶片方向 6.12居里温度 11 6.13品格常数 11 7包装、标签和标识、交货条件12 7.1包装 .12 7.2标签和标识 12 7.3交货条件 12 8居里温度的测量 12 8.1概述 12 8.2DTA测量方法“ 12 8.3介电常数方法 13 9晶格常数的测量(Bond方法) 13 10用X-射线（定向仪）测量品面角度（定向）的方法14 I GB/T30118-2013 前言 本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草， 本标准使用翻译法修改采用IEC62276:2005《声表面波(SAW)器件用单晶晶片规范与测量方法》， 本标准在采用国际标准时进行了修改.这些技术性差异用垂直单线标识在它们所涉及的条款的页 边空白处，在附录中给出了技术性差异及其原因的一览表以供参考. 本标准还作了下列编辑性修改； 一-删除了IEC标准前言. -一一在引用标准中，用GB/T3505《产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法术语、定义及 表面结构参数》代替ISO4287;用GB/T2828.1《计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限 (AQL)检索的逐批检验抽样计划》代替IEC60410;用GB/T3352《人造石英晶体规范与使 用指南》代替1EC60758;此外，还增加了GB/T6618《硅片厚度和总厚度变化测试方法》. 一在图1中原文把第二基准面与基准面画成一样，是不正确的，产品加工中第二基准面应比基准 面短，以便区分. 本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出. 本标准由全国频率控制和选择用压电器件标准化技术委员会(SAC/TC182)归口. 本标准起草单位：中国电子科技集团第二十六研究所、中国电子科技集团德清华莹电子有限公司、 北京石晶光电科技有限公司. 本标准主要起草人：张小梅、蒋春健、吴兆刚、吴剑波、赵雄章、周洋舟. ...
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