ICS29.045 H83 gB 中华人民共和国国家标准 GB/T30856-2014 LED外延芯片用砷化镓衬底 GaAs substrates for LED epitaxial chips 2014-07-24发布 2015-04-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T30856-2014 LED外延芯片用砷化镓衬底 1范围 本标准规定了LED外延芯片用碑化镓单晶衬底片（以下简称衬底）的要求、检验方法和规则以及标 志、包装、运输、储存、质量证明书与订货单（或合同）内容. 本标准适用于LED外延芯片用的砷化镓单晶衬底. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T191包装储运图示标志 GB/T1555半导体单晶晶向测定方法 GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T4326非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法 GB/T6616半导体硅片电阻率及硅薄膜层电阻测试方法非接触涡流法 GB/T6618硅片厚度和总厚度变化测试方法 GB/T6620硅片翘曲度非接触式测试方法 GB/T6621硅片表面平整度测试方法 GB/T6624硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T8760碑化镓单晶位错密度的测量方法 GB/T13387硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法 GB/T13388硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 GB/T14140硅片直径测量方法 GB/T14264半导体材料术语 GB/T14844半导体材料牌号表示方法 SEM1M9.7-0200直径150mm砷化镓单晶圆形抛光片（切口）规范 3术语和定义 GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件. 4要求 4.1分类 砷化镓衬底按导电类型分为n型和p型两种类型. 4.2牌号 砷化衬底牌号表示按GB/T14844的规定. GB/T30856—2014 4.3规格 砷化镓衬底按直径分为中50.8mm、更76.2mm、更100mm、中150mm4种规格，或由供需双方商定. 4.4电学性能 砷化镓衬底的电学性能应符合表1的规定. 表1 要求 序号 项目 n P 1 电阻率/(ncm) 0.01~1×10-J 0.1~3×10-1 2 迁移率/[cm2/(Vs)] ≥1000 ≥40 3 载流子浓度/cm- 1X107-~4X10 5×1017~5×109 4.5表面晶向及晶向偏离 砷化镓衬底的表面晶向为，晶向偏离不大于0.5（当客户对晶向参数有特殊要求时由供需 双方在合同中确定). 4.6位错密度 碑化衬底的位错密度应符合表2的规定. 表2 要求 项目 中50.8mm 76.2mm 100mm 0150mm 位错密度/（个/cm2) ≤2×103 ≤4X103 ≤5X103 ≤1×10 注：当客户对品体位错密度参数和位错类型及分布有特殊要求时由供需双方在合同中确定. 4.7表面质量 在砷化镓衬底表面边缘2mm范围内无划痕、崩边、桔皮和裂缝.在整个表面无沾污、溶剂残留物、 蜡残留物或按合同规定. 4.8参考面的取向、形状和尺寸 4.8.1中50.8mm(2”)、中76.2mm(3”)、中100mm(中4”)砷化镓衬底参考面的取向、形状和长度应符 合表3的规定. 2 ...
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