ICS77.040 H21 B 中华人民共和国国家标准 GB/T30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法 Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates 2014-07-24发布 2015-04-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法 1范围 本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片（简称衬底 片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法. 本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T14264半导体材料术语 3术语和定义 GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件. 3.1 5点厚度变化5 points thickness variation TV5 衬底片上特定5个点的厚度测量值中的最大厚度与最小厚度的差值称为衬底片的5点厚度变化. 4方法概述 4.1分立点式测量 在衬底片中心点和距边2mm圆周上的4个对称位置点（见图1）测量衬底片厚度.中心点厚度作为 衬底片的标称厚度.5个厚度测量值中的最大厚度与最小厚度的差值即为衬底片的5点厚度变化. 4 2 5 3 说明： 1、4、5—距圆边2mm; 2—中心点； 3一一距平边2mm. 图1分立点位置 1 GB/T30857-2014 4.2扫描式测量 衬底片由基准环上的3个支点支撑，中心点厚度作为衬底片的标称厚度，利用接触式或非接触式的 探头或激光器按规定图形（见图2）扫描衬底片表面，进行厚度测量.距边2mm内开始取点，至少每 1mm~3mm取一点测量厚度，测量值中的最大厚度与最小厚度的差值即为衬底片的总厚度变化. A D c B B D A 图2厚度测量扫描路径 5设备 5.1接触式测厚仪 接触式测厚仪由带有指示仪表的量具及可支持衬底的夹其或平台组成.仪表最小指示单位不大于 1um 测量探头的底面积不应超过2mm2 待确认厚度校正标准片，厚度值的范围从0.25mm~ 1.2mm 厚度间隔为0.2mm士0.025mm. 5.2非接触式测厚仪 非接触式测厚仪由一个可移动的基准平台，具有指示器的固定探头装置，定位器等所组成. 基座底面应光滑，粗糙度应小于0.25μm 平整度应小于0.25μm. 6样品 衬底片应具有清洁、干燥的表面，如果待测片不具备参考面，应在衬底片背面边缘处作出测量定位标记. 7测量 7.1测量环境 除另有规定外，应在下列条件下进行测量： a)温度：20℃~25℃； b)湿度：不大于70%； c)配置有防振平台. 7.2仪器校正 7.2.1从一组厚度校正标准片中选取厚度与待测衬底片厚度相差在0.125mm范围内的厚度校正标准 2 ...
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