ICS29.045 H83 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T30858-2014 蓝宝石单晶衬底抛光片 Polished mono-crystalline sapphire substrate product 2014-07-24发布 2015-04-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T30858-2014 蓝宝石单晶衬底抛光片 1范围 本标准规定了蓝宝石单晶衬底抛光片的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证 明书与订货单（或合同）内容. 本标准适用于单面抛光蓝宝石衬底片（以下简称蓝宝石衬底片）. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T1031产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值 GB/T1555半导体单晶晶向测定方法 GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T6619硅片弯曲度测试方法 GB/T6620硅片翘曲度非接触式测试方法 GB/T6624硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T13387硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法 GB/T14140硅片直径测量方法 GB/T14264半导体材料术语 GB/T19921硅抛光片表面颗粒测试方法 GB/T30857蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法 3术语和定义 GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件. 3.1 蓝宝石sapphire 可以用来外延生长的、有确定晶向的人工生长单晶氧化铝材料. 3.2 衬底substrate 用于生长硅、氮化镓或其他材料的抛光蓝宝石晶片. 3.3 局部厚度变化local thickness variation 当蓝宝石晶片的背面为理想平面时，在晶片表面的局部区域内，相对于特定参考平面的最大偏差， 通常报告晶片上局部定域的最大值. 3.4 蓝宝石晶棒sapphire ingot 依特定轴向生长的晶体，通过机械加工后满足切片的蓝宝石棒材. 1 GB/T30858-2014 3.5 亮点bright point 一种孤立的特性，晶片表面上尺寸足够的局部光散射体，其在高强度光照射下呈现为光点，这些光 点可目视观察到.有时称光点缺陷. 注：例如品片表面上的颗粒沾污，相对于品片表面的光散射强度，可导致该处光散射强度增加. 4要求 4.1化学组成 蓝宝石单晶的化学组成为高纯的a-Al2O3 总杂质含量应小于10-(100Ppm). 4.2结晶完整性 要求蓝宝石衬底片在有效直径范围内都是单品，位错密度应小于10个/cm2 双晶摇摆曲线的半 峰宽值(FWHM)应小于30 arcsec. 4.3生长方法 制备蓝宝石单晶衬底片所使用的生长方法按双方合同的规定. 4.4表面取向和参考面取向 蓝宝石单晶属六方晶系，六方晶系晶胞的结构如图1所示.表面取向和参考面取向应符合表1的 规定，蓝宝石晶体R面的主参考面取向见图2. 轴 (面 A面 R面 (面(0001) A面(1120) R面(1012) 图1六方晶系晶胞结构图 表1 项目 要求 C面(0001) 表面取向 偏M轴0.2士0.15° R面(1102)士0.15 A面(1120)士0.15° M面(1010)士0.15° 偏A轴0士0.15° 2 ...
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