GB/T 30859-2014 太阳能电池用硅片翘曲度和波纹度测试方法.pdf

ICS77.040 H21 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T30859-2014 太阳能电池用硅片翘曲度和 波纹度测试方法 Test method for warp and waviness of silicon wafers for solar cells 2014-07-24发布 2015-04-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T30859-2014 太阳能电池用硅片翘曲度和 波纹度测试方法 1范围 本标准规定了太阳能电池用硅片（以下简称硅片）翘曲度和波纹度的测试方法. 本标准适用于硅片翘曲度和波纹度的测试. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T3505一2009产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数 GB/T6620硅片翘曲度非接触式测试方法 GB/T14264半导体材料术语 GB/T16747一2009产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法表面波纹度词汇 GB/T18777产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法相位修正滤波器的计量特性 GB/Z26958(部分)产品几何技术规范(GPS)滤波 3术语和定义 GB/T3505一2009、GB/T14264GB/T16747一2009、GB/T18777和GB/Z26958界定的术语和 定义适用于本文件.为了便于使用，以下重复列出了GB/T3505一2009和GB/T16747一2009中的某 些术语和定义. 3.1 轮廓滤波器profile filter 把轮廓分成长波和短波成分的滤波器.在测量粗糙度、波纹度和原始轮廓的仪器中使用三种滤波 器，见图1.它们都具有GB/T18777规定的相同的传输特性，但截止波长不同. [GB/T3505一2009，定义3.1.1] 3.2 x 轮廓滤波器 profile filter 确定存在于表面上的粗糙度与比它更短的波的成分之间相交界限的滤波器，见图1. [GB/T3505一2009，定义3.1.1.1] 3.3 a.轮廓滤波器.profile filter 确定粗糙度与波纹度成分之间相交界限的滤波器，见图1. [GB/T3505一2009，定义3.1.1.2] 3.4 轮廓滤波器:profile filter 确定存在于表面上的波纹度与比它更长的波的成分之间相交界限的滤波器，见图1. GB/T30859—2014 [GB/T3505—2009 定义3.1.1.3] 100 粗糙度轮廓 波纹度轮 50 波长 图1粗糙度轮廓和波纹度轮廓的传输特性 3.5 实际表面real surface 物体与周围介质分离的表面.实际表面是由粗糙度、波纹度和形状叠加而成的. [GB/T16747-2009 定义3.1] 3.6 表面轮廓（实际轮廓）surface profile(real profile) 由一个指定平面与实际表面相交所得的轮廓.它由粗糙度轮廓、波纹度轮廓和形状轮廓构成. [GB/T16747一2009，定义3.2] 3.7 原始轮廓primary profile 通过入，轮廓滤波器后的总轮廓. [GB/T3505—2009 定义3.1.5] 3.8 表面波纹度轮廓（波纹度轮廓）profile of surface waviness(waviness profile) 对原始轮廓连续应用入：和入.两个轮廊滤波器以后...