ICS71.100.20 G86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T31986—2015 电子工业用气体八氟丙烷 Gas for electronic industry-Perfluoropropane 2015-09-11发布 2016-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T31986—2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本标准起草单位：国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、浙江省化工研究院有限公司、 佛山市华特气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、中吴光明化 工研究设计院有限公司、四川中测标物科技有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、西南化工研究 设计院有限公司. 本标准主要起草人：林宇巍、陈熔、史婉君、方路、廖恒易、金向华、孙猛、方华、孙福楠、方正、崔学文、 周鹏云. I GB/T31986-2015 电子工业用气体八氟丙烷 1范围 本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全. 本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备，并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品， 以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品.它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗 气体. 分子式：C2Fs. 相对分子质量：188.017（按2011年国际相对原子质量）. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB5099钢质无缝气瓶 GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法 GB7144气瓶颜色标志 GB/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法 GB14193液化气体气瓶充装规定 GB15258化学品安全标签编写规定 GB16804气瓶警示标签 GB/T26571特种气体储存期规范 GB/T28726气体分析氮离子化气相色谱法 气瓶安全监察规程(2000版) 危险化学品安全管理条例(2011版) 特种设备安全监察条例(2009版) 3技术要求 八氟丙烷的质量应符合表1的要求. 表1技术指标 项目 指标 八氟丙烷(C2F:)纯度（体积分数）/10- 99.999 99.99 (氧氩)(O2Ar)含量（体积分数）/10-6 < 1 10 氮(N2)含量（体积分数）/10-6 < 5 20 1 ...
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