ICS71.100.20 G86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32386-2015 电子工业用气体六氟化钨 Gases for electronic industry-Tungsten hexaflouride 2015-12-31发布 2016-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T32386—2015 电子工业用气体六氟化钨 1范围 本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全. 本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨.该产品主要用于电子工业中金属钨化学 气相沉积工艺钨材料的制备等. 分子式：WF8. 分子量：297.8304192（按2009年国际相对原子质量计算）. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB5099钢质无缝气瓶 GB/T5275.10气体分析动态体积法制备校准用混合气体第10部分：渗透法 GB7144气瓶颜色标志 GB14193液化气体气瓶充装规定 GB15258化学品安全标签编写规定 GB16804气瓶警示标签 GB/T26571特种气体储存期规范 GB/T28726气体分析氨离子化气相色谱法 TJ36-79工业企业设计卫生标准 气瓶安全监察规程(2000版) 危险化学品安全管理条例(2002版) 特种设备安全监察条例(2009版) 3技术要求 六氟化钨的技术指标应符合表1要求. 表1技术指标 项目名称 指标 六氟化钨(WF)纯度（体积分数）/10-2 99.9 99.999 99.9995 99.9999 四氟化碳(CF)含量（体积分数）/10- 10 0.5 0.5 0.1 氮(N2)含量（体积分数）/10- 50 1 0.5 0.1 1 GB/T32386—2015 表1（续） 项目名称 指标 (氧氩)(O2十Ar)含量（体积分数）/10- ≤ 50 0.5 0.5 0.1 二氧化碳(CO2)含量（体积分数）/10- 0.5 0.5 0.1 一氧化碳(C0)含量（体积分数）/10-6 ≤ 0.5 0.5 0.1 六氟化硫(SF:)含量（体积分数）/10-s 10 0.5 0.5 0.1 四氟化硅(SiF)含量（体积分数）/10- 10 0.5 0.5 0.1 氟化氢(HF)含量（体积分数）/10-6 ≤ 800 5 1 0.3 钼(Mo)含量/(pg/L) 100 10 10 铁(Fe)含量/(pg/L) 20 10 5 钾(K)含量/（μg/L) 5 5 5 钠(Na)含量/（g/L) 5 5 5 铬(Cr)含量/(pg/L) 10 10 5 (Th)含量/(pg/L) 0.1 0.1 0.1 (U)含量/（μg/L) 0.05 0.05 0.05 钴(Co)含量/(ug/L) 10 10 5 锰(Mn)含量/（μg/L) 10 10 5 铅(Pb)含量/(pg/L) 10 10 锌(Zn)含量/(pg/L) 10 10 5 金属元素含量 钙(Ca)含量/(ug/L) 5 5 5 镁(Mg)含量/八(pg/L) 10 10 5 镍(Ni)含量/（μg/L) 20 20 10 铜(Cu)含量/（g/L) 5 5 5 铝(AI)含量/（μg/L) 10 10 5 神(As)含量/（μg/L) 10 10 5 ...
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