ICS71.100.20 G86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T34085-2017 电子工业用气体三氟甲烷 Gas for electronic industry-Trifluoromethane 2017-07-31发布 2017-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T34085-2017 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本标准起草单位：国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、广东华特气体股份有限公司、 浙江巨化股份有限公司、高麦仪器公司、浙江省化工研究院、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连大 特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、天津长芦华信化工 股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司. 本标准主要起草人：陈熔、林宇巍、傅铸红、杜汉盛、叶红艳、牛艳东、史婉君、孙福楠、曲庆、方华、 王鸿、崔学文、周朋云. I GB/T34085-2017 电子工业用气体三氟甲烷 1范围 本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全. 本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品.它在电子工业等 离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体. 分子式：CHF3. 相对分子质量：70.013（按2011年国际相对原子质量）. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB/T5099钢质无缝气瓶 GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法 GB/T7144气瓶颜色标志 GB/T14193液化气体气瓶充装规定 GB15258化学品安全标签编写规定 GB/T16804气瓶警示标签 GB/T26571特种气体储存期规范 GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法 TSGR0006气瓶安全技术监察规程 危险化学品安全管理条例(2002版) 特种设备安全监察条例(2009版) 3技术要求 三氟甲烷的质量应符合表1的要求. 表1技术指标 项目 指标 三氟甲烷(CHF3)纯度（体积分数）/10-2 ≥ 99.999 氧氩(O2Ar)含量（体积分数）/10-6 < 1 氮(N2)含量（体积分数）/10-6 < 3 一氧化碳(CO)含量（体积分数）/10-6 < 1 二氧化碳(CO2)含量（体积分数）/10-s < 1 1 ...
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