JJF 中华人民共和国地方计量技术规范 JJF(冀)213-2023 关键尺寸扫描电子显微镜校准规范 Calibration Specification for Critical Dimension Scanning Electronic Microscopes 2023-8-2发布 2023-11-1实施 河北省市场监督管理局发布 关键尺寸扫描电子显微镜校准规范 JJF(冀)213-2023 Calibration Specification for Critical Dimension Scanning Electronic Microscopes 归口单位：河北省市场监督管理局 主要起草单位：中电国基北方有限公司 参加起草单位：河北美泰电子科技有限公司 本规范委托起草单位负责解释 ...
JJF（冀） 213-2023 关键尺寸扫描电子显微镜 校准规范.pdf
