QJ 3212-2005 氦质谱仪背压检漏方法.pdf

质谱仪,其他规范
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QJ 中华人民共和国航天行业标准 FL0150 QJ3212-2005 氦质谱仪背压检漏方法 Test methods for leaks using the helium mass spectrometer leak detector in the inside-out testing mode 2005-04一11发布 2005一07一01实施 国防科学技术工业委员会发布 060508000042 QJ3212-2005 前言 本标准的附录A为资料性附录. 本标准由中国航天科技集团公司提出. 本标准由中国航天标准化研究所归口. 本标准起草单位:中国航天标准化研究所. 本标准主要起草人:闫荣鑫、吴孝俭、王振武、张京豪. I QJ3212-2005 氦质谱仪背压检漏方法 1范围 本标准规定了氦质谱仪背压检漏的设备、环境、安全、人员、试验原理、试验程序的要求. 本标准适用于漏率在10Pam3/s~101pam3/s的小型封闭产品的氦质谱背压泄漏检测. 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款.凡是注日期的引用文件,其随后的 修改单(不包含勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本.凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准. GB4844-1984氦气 GB/T12604.7一1995无损检测术语泄漏检测 GB/T13979一1992氦质谱检漏仪 GJB9712一2002无损检测人员的资格鉴定与认证 QJ2040.1一1991标准漏孔的校准方法绝对校准方法 QJ2040.2一1991标准漏孔的校准方法相对校准方法 3术语和定义 GB/T12604.7一1995确立的以及下列术语和定义适用于本标准. 3.1 氦质谱仪背压检漏leaks using the helium mass spectrometer leak detector in the inside-out testing mode 在被检件内压人氦气,清除表面氦气后,放入和氦质谱检漏仪相连的真空容器内测定漏率. 3.2 充氦箱pressure helium box 容纳被检件,向被检件施加一定压力氨气的容器. 3.3 测试室testing chamber 同氦质谱检漏仪相连,并容纳被检件的密封容器. 3.4 标准漏率standard leakage rate 温度在25℃±5℃,入口压力为0.1X(1±5%)MPa 出口压力小于1kPa 露点低于一25℃条件下 的大气流动速率. 3.5 测量漏率measured leakage rate 在规定的测试条件下,氦质谱检漏仪测定的被检件漏率. 3.6 1 ...

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