ICS77.150.99 H63 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1357-2020 磁记录用铬钽钛合金溅射靶材 CrTaTi alloy sputtering target used in magnetic recording 2020-12-09发布 2021-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1357—2020 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口. 本标准起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波科铂新材料有限 公司. 本标准主要起草人：赵泽良、马国成、袁海军、吴东青、姚力军、王学泽、曹欢欢廖培君、李小萍、苏美凤、 陈勇军、滕海涛、高岩、丁照崇、李利利. YS/T1357-2020 磁记录用铬钽钛合金溅射靶材 1范围 本标准规定了磁记录用铬钽钛合金溅射靶材的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则及标志、 包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容. 本标准适用于6英寸~8英寸垂直磁记录硬盘、磁盘用铬钽钛合金靶材. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注目期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T1031产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值 GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法 GB/T8651金属板材超声板波探伤方法 GB/T13298金属显微组织检验方法 GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 YS/T899高纯钽化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件. 3.1 靶材target 在溅射沉积技术中的阴极部分.该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式 脱离阴极而在衬底表面沉积. 4技术要求 4.1产品形状 产品形状通常为圆形，或由需方提供图纸. 4.2化学成分 4.2.1产品的主成分含量要求应不小于99.95%. 4.2.2产品的化学成分应符合表1的规定. 表1化学成分 牌号 CrTaTi Cr含量（质量分数）/% 37.25士0.65 1 ...
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