ICS29.045 CCS H 83 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T30652-2023 代替GB/T30652—2014 硅外延用三氯氢硅 Trichlorosilane for silicon epitaxial 2023-08-06发布 2024-03-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T30652—2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件代替GB/T30652一2014《硅外延用三氯氢硅》，与GB/T30652一2014相比，除结构调整和 编辑性改动外，主要技术变化如下： a)更改了适用范围（见第1章，2014年版的第1章）； b)增加了术语和定义一章（见第3章）； c)更改了部分技术指标要求（见4.1 2014年版的3.2）； d)增加了部分项目的试验方法（见第5章，2014年版的第4章）； e)更改了组批的规定（见6.2 2014年版的5.2）； )增加了检验项目（见6.3）； g)更改了取样和制样的要求（见6.4 2014年版的5.3）； h)更改了检验结果的判定（见6.5 2014年版5.4）； i)更改了标志的要求（见7.1 2014年版的6.1）； j)更改了标志、包装、运输、贮存等的要求（见第7章，2014年版的第6章）. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本文件起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、上海亿钶气 体有限公司、南京国盛电子有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、上海新昇半导体科技有限公司、上海 晶盟硅材料有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、武汉新 硅科技潜江有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、中电晶华（天津）半导体材料有限公司、昊华气休有限 公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、青海中航硅材料有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公 司、江西晨光新材料股份有限公司. 本文件主要起草人：万烨、赵雄、严大洲、刘见华、张园园、李素青、李建新、李飞明、冯永平、孙任靖、 张斌、顾广安、于生海、邓远红、徐岩、李楷东、刘文明、李明达、付梦月、邱艳梅、边红利、史隽涛、梁秋鸿. 本文件于2014年首次发布，本次为第一次修订. I GB/T30652-2023 硅外延用三氯氢硅 1范围 本文件规定了硅外延用三氯氢硅(SiHCI)的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮 存、随行文件及订货单内容. 本文件适用于以三氯氢硅为原料精制提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）. 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于 本文件. GB190危险货物包装标志 GB/T191包装储运图示标志 GB/T1551硅单晶电阻率的测定直排四探针法和直流两探针法 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB12463危险货物运输包装通用技术条件 GB/T14264半导体材料术语 GB15258化学品安全标签编写规定 GB/T16483化学品安全技术说明书内容和项目顺序 GB/T24581...
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