ICS77.120.10 CCS H 61 G 中华人民共和国国家标准 GB/T34213—2023 代替GB/T34213—2017 蓝宝石单晶用高纯氧化铝 High purity alumina for sapphire single crystal 2023-08-06发布 2024-03-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T34213-2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件代替GB/T34213一2017《蓝宝石衬底用高纯氧化铝》,与GB/T34213一2017相比,除结构 调整和编辑性改动外,主要技术变化如下: a)更改了标准的适用范围(见第1章,2017年版的第1章); b)增加了第4章产品牌号、分类及标记(见第4章); c)删除了真密度和产品主要生产方式(见2017年版的4.1); d)增加了堆积密度、体积密度和尺寸的要求(见5.1); e)更改了化学成分的要求(见5.2 2017年版的4.2); )更改了外观的要求(见5.3 2017年版的4.3); g)更改了试验方法(见第6章,2017年版的第5章); h)更改了组批的要求(见7.2 2017年版的6.2); i)更改了取样的要求(见7.3 2017年版的6.4); j)更改了检验结果的判定(见7.4 2017年版的6.5); k)更改了标志及随行文件的内容(见第8章,2017年版的第7章); 1)更改了产品包装的要求(见8.2 2017年版的7.2). 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本文件起草单位:山东恒晶新材料有限公司、浙江晶瑞电子材料有限公司、有色金属技术经济研究 院有限责任公司、宁夏品环新材料科技有限公司、天通银厦新材料有限公司、宁夏鑫晶盛电子材料有限 公司、青岛华芯晶电科技有限公司. 本文件主要起草人:许永宾、田维达、贺东江、许士铭、段斌斌、石刚、康森、胡飞、张凤明、范以达、 姜超、肖迪. 本文件于2017年首次发布,本次为第一次修订. I GB/T34213-2023 蓝宝石单晶用高纯氧化铝 1范围 本文件规定了蓝宝石单晶用高纯氧化铝的产品牌号、分类及标记、技术要求、试验方法、检验规则、 标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容. 本文件适用于蓝宝石单晶用高纯氧化铝(以下简称高纯氧化铝),其他用途的高纯氧化铝可参照本 文件执行. 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于 本文件. GB/T2997致密定形耐火制品体积密度、显气孔率和真气孔率试验方法 GB/T6609.22氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法取样 GB/T14264半导体材料术语 GB/T16418颗粒系统术语 GB/T23771无机化工产品中堆积密度的测定 GB/T33236多晶硅痕量元素化学分析辉光放电质谱法 GB/T37248高纯氧化铝痕量金属元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法 GB/T38762.1一2020产品几何技术规范(GPS)尺寸公差第1部分:线性尺寸 3术语和定义 GB/T14264和GB/T1...
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