ICS71.100.20 CCS G86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42720-2023 电子特气六氯乙硅烷 Electronic specialty gas-Hexachlorodisilane 2023-08-06发布 2024-03-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T42720—2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本文件起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、吴华气体有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、中 船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、湖州市南浔区佰通标准化研究院、 广东华特气体股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、北京高麦克 仪器科技有限公司、浙江博瑞电子科技有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、湖北和远气体股份 有限公司、三峡大学、内蒙古兴洋科技股份有限公司、福建德尔科技股份有限公司、宁夏胜蓝化工环保科 技有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司、太和气体（荆州）有限公司、吴华气体有限公司西南分公司、大 连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限 公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、中国计量科学研究院、宿州伊维特新材料有 限公司、联雄投资（上海）有限公司、南大光电半导体材料有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、空气化 工产品（中国）投资有限公司、浙江炬和科技有限公司、绍兴科艺标准技术咨询有限公司、沈阳中复科金 压力容器有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体（上海）有 限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、衢州杭氧特种气体有限公司、西南化工研究设计院有限 公司. 本文件主要起草人：万烨、王娟、张园园、付梦月、严大洲、郭琼、陈海宝、魏东亮、柳彤、沙婷、曹素英、 陈辉、张天泽、廖恒易、陈艳珊、金向华、孙猛、傅铸红、欧基友、牛艳东、刘丽娜、张广第、马彬淇、杜大艳、 曹小林、方强、袁有录、陶刚义、杨华志、华祥斌、李纪明、沈俊、李楷东、阳辉、汪正宏、常侠、罗旭、陈洁、 吴靓、方华、孙小伟、姚显章、李春华、姜阳、尹冬梅、胡树国、秦远望、何波、杨康、黄辉、陈德义、王晶、 李倩、董硕、顾大正、宫兵、王大为、杨利、钱叶超、吴乾康、梁永强、梁成科、高静、毛玲玲、马昌宁、赵刚、 赖晓峰、周鹏云. I ...
正式版 GB/T 42720-2023 电子特气 六氯乙硅烷.pdf
