ICS77.150.99 CCS H 68 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T23611-2023 代替GB/T23611-2009 金及金合金靶材 Gold and gold alloy targets 2023-08-06发布 2024-03-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T23611-2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草. 本文件代替GB/T23611一2009《金靶材》，与GB/T23611一2009相比，除结构调整和编辑性改动 外，主要技术变化如下： a)增加了“术语和定义”一章（见第3章）； b)增加了AuGe及AuGeNi合金靶材品种（见4.1.2）； c)增加了结构形式及供货状态（见4.1.4、4.1.5）； d)增加了AuGe及AuGeNi合金靶材技术要求和试验方法（见5.1、6.1）； e)增加了金靶材化学成分表（见5.1）； f)增加了靶材焊接质量要求（见5.5）； g)更改了金靶材外形尺寸及允许偏差（见5.6 2009年版的3.4）； h)增加了矩形靶材外形尺寸及允许偏差要求（见5.6）. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由中国有色金属工业协会提出. 本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口. 本文件起草单位：有研亿金新材料有限公司、北京有色金属与稀土应用研究限公司、贵研铂业 股份有限公司、紫金矿业集团黄金冶炼有限公司、有研资源环境技术研究院（北京）有限公司、深圳市众 诚达应用材料科技有限公司. 本文件主要起草人：罗瑶、吕保国、江轩、王鹏、黄晓猛、窦程亮、关静、罗远辉、段华英、刘满门、朱武勋、 张博厚、林烽先、吴卫煌、黄勇彪. 本文件于2009年首次发布为GB/T23611一2009《金靶材》，本次为第一次修订. I GB/T23611-2023 金及金合金靶材 1范围 本文件规定了金及金合金靶材的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存 及随行文件和订货单内容. 本文件适用于半导体电子器件用金及金合金靶材（以下简称“靶材”）. 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中，注日期引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于 本文件. GB/T6394金属平均晶粒度测定方法 GB/T8651金属板材超声板波探伤方法 GB/T11066.1金化学分析方法金量的测定火试金法 GB/T11066.10金化学分析方法硅量的测定钼蓝分光光度法 GB/T11066.11金化学分析方法第11部分：镁、铬、锰、铁、镍、铜、钯、银、锡、锑、铅、铋含量的 测定电感耦合等离子体质谱法 GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GB/T25934(部分)高纯金化学分析方法 YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件. 3.1 靶材target 在溅射沉积技术中的阴极部分，该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式 脱离阴极而在阳极表面沉积. 注：靶材由靶坯和背板组成. 3.2 靶还targrt blank 阴极上用作溅射材料的材料. 3.3 背板backing plate 用来支撑或固定靶材的材料. 注：靶坯与背板可以通过焊接（如钎焊、电子束焊、扩散焊等）...
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