GB/T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法 正式版.pdf

ICS31.080.99 CCS L 59 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法 Test methods of the performances for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device 2023-05-23发布 2023-09-01实施 回 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42191-2023 目次 前言 I 范围 1 2规范性引用文件 3术语和定义 1 4试验条件及规定 1 4.1大气条件 1 4.2其他环境条件 2 4.3测试设备 2 5试验项目及方法 2 5.1试验项目 2 5.2试验方法 2 GB/T42191-2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口. 本文件起草单位：北京大学、中机生产力促进中心有限公司、北京智芯传感科技有限公司、昆山昆博 智能感知产业技术研究院有限公司、厦门光莆电子股份有限公司、江门市润宇传感器科技有限公司、宁 波志伦电子有限公司、广州奥松电子股份有限公司、华东光电集成器件研究所、深圳市美思先端电子有 限公司、南京高华科技股份有限公司、中国科学院微电子研究所、湖南国天电子科技有限公司、南京沃天 科技股份有限公司、广州广电计量检测股份有限公司、武汉飞恩微电子有限公司、深圳安培龙科技股份 有限公司、昆山传感器测控技术有限公司. 本文件主要起草人：张威、顾枫、李根梓、陈广忠、李宋张亚婷、张良、陈立国、林瑞梅、李树成、茅曙、 张宾、王鹏、李晓波、许宙、王玮冰、陈路、高峰、明志茂、曹万、陈君杰、王冰. I ...