GB/T 42897-2023 正式版 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法.pdf

ICS31.200 CCS L 59 GE 中华人民共和国国家标准 GB/T42897-2023 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 Micro-electromechanical systems(MEMS)technology- Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS 2023-08-06发布 2023-12-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T42897-2023 目 次 前言 Ⅲ 1范围 1 2规范性引用文件 .1 3术语和定义1 4试验要求 1 5试验方法 3 附录A(资料性)推荐形变量标尺结构及其指示数值读取方法5 附录B(资料性)纳米厚度膜抗拉强度原位片上试验机体硅工艺制备实例6 附录C(资料性)纳米厚度膜抗拉强度原位片上试验机尺寸建议 7 ...