GB/Z 42624-2023 真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序.pdf

ICS23.160 CCS J78 GB 中华人民共和国国家标准化指导性技术文件 GB/Z42624-2023/ISO/TS20177:2018 真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序 Vacuum technology-Vacuum gauges- Procedures to measure and report outgassing rates (ISO/TS20177:2018 IDT) 2023-05-23发布 2023-05-23实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/Z42624-2023/ISO/TS20177:2018 目 次 前言 I 引言 Ⅱ 1范围 1 2规范性引用文件 1 3术语和定义 4符号和缩略语3 5测试系统 3 5.1一般要求3 5.2应用流量法的测试系统 5 5.3累积系统 10 6测试方法11 6.1概述 11 6.2推荐的样品制备方式 12 6.3测试的流程和时间 12 6.4测试程序 13 7测量不确定度17 7.1概述 17 7.2用作流量比较装置的连续膨胀系统(5.2.2)18 7.3带有可计算流导元件的流量系统(5.2.3) 18 7.4带有可测有效抽速的流量系统(5.2.4) 18 7.5带有可调流导元件的流量系统(5.2.5) .19 7.6基本累积系统(5.3.2) 19 7.7带有气体分析系统的累积系统(5.3.3)19 8测试报告 22 附录A(资料性)各种测试系统的原理图23 附录B(资料性)不同测试系统的特征和适用性28 附录C(资料性)不同测量系统对SI的可追溯性 29 参考文献 30 GB/Z42624-2023/ISO/TS20177:2018 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件等同采用ISO/TS20177:2018《真空技术真空计放气率的测试和报告程序》. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由中国机械工业联合会提出. 本文件由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口. 本文件起草单位：北京卫星环境工程研究所、中国航天科技集团有限公司第五研究院第五一○研究 所、上海精密计量测试研究所、重庆云海机械制造有限公司、沈阳汇真真空技术有限公司、湖南维格磁流 体股份有限公司、合肥工业大学、沈阳真空技术研究限公司. 本文件主要起草人：孙立臣、赵月帅、綦磊、袁翠平、成永军、赵澜、孙雯君、肖寅枫、翁俊、倪博、唐俊聪、 何万飞、言继春、言文静、毕海林、孙立志、潘颖、史纪军、孟冬辉、刘兴悦、钟亮、齐嘉东、郭琦、汪力、喻新发、 董猛、张瑞芳、宋青竹、乔忠路、王玲玲. I ...