洁净室及相天受控环境 ——理论与实践 Cleanroom and Associated Controlled Environments --Theory and Practice 涂光备著 中国进筑工业出版杜 图书在版编目(CIP)数据 洁净室及相关受控环境——理论与实践/涂光备 著.一北京:中国建筑工业出版社,2014.10 1SBN978-7-112-17149-1 I.①洁Ⅱ.①涂Ⅲ.①洁净室-环境控 制-研究V.①TU834.8 中国版本图书馆CP数据核字(2014)第186752号 本书凝结了作者及其科研团队几十年的研究成果,其中有科研成果的分享,也有经验 的总结.书中对洁净室及相关受控环境相关内容的历史演变脉络做了概括的介绍.以便于 了解某项技术的方法、标准等的发展和变化,有助于把握这种技术的规律和思路:介绍了 作者及其研究团队几十年来科研项目以及工程实践的案例.这些案例的研究思路、方法至 今依旧具有借鉴价值. 本书把重点放在更实际的工程应用上,有助于读者在了解原理的前提下,把握实现洁 净室及相关受控环境的方法和手段,创造性地应用于工程实践中去. 责任编辑:姚荣华张文胜 责任设计:李志立 责任校对:陈晶晶党蕾 前言 历经四、五年时间的“挤兑”,总算结稿.尽管再细读仍有不少差强人意、未能透彻 之处,也还有许多尚宜补充的余地.限于精力决计不再拖延了.本来水平有限,再怎么删 改斟酌也难尽善,何况新技术、新概念、新问题连绵不断,个人的一本书不应指望承载那 么多的责任,这也算是自我解嘲的一个说辞吧!年近八旬、来日有限,留一点时间陪伴家 人,能动得了再多观光、游历几处,以补偿年轻时的缺失,不算为过吧? 之所以不过是几十万字的一本书,在手中拖延好几年,外出、参会虽也占据些时光, 主要还是工效低,既不能在电脑前久坐,软件设置又不熟,那只可采用手写后分段请人输 入,我再校稿,一般需要两、三个来回,有些章节往复多达七、八次.有的因相隔三四年 找不到原稿了,还有忘了存盘而丢失的,也难怪如此磨蹭,真恨不成器.好在这几年已处 于当年清华母校蒋南翔校长倡导的“为祖国健康地工作五十年”的界外,聊以此自我 宽慰. 几年前着手撰写本书时,想的是这几十年中,自己和合作伙伴们搞了些研究、做了些 工程,在洁净室及相关受控环境领域多少积累了些心得、经验,应该有个总结,留供同行 参考.但毕竞自己身处教学岗位,教书育人为先,此外还受项目来源、科研费用等所限, 因此研究工作既欠深入,又不十分完整.好在许多工作都是跟随“洁净室及相关受控环 境”这门学科在国内生根发芽、苗壮成长的历程进行的,或许多少有些参考价值. 本书中的许多内容是我、我的团队及合作伙伴在40多年中共同取得的成果,这个集 体除部分天津大学的教师外(杨洁、邢金城、凌继红、周志华、安大伟、娄承芝、刘明 素、朱恒忠),主力军还是研究生,在我的85位硕、博士研究生中,约有1/2的研究课 题与“洁净室及相关受控环境”有关,毕业后,他们有的在所在单位技术岗位上身居要职 (李恒业、朱能、张少凡、程秋红、张厚羽、王丽、胡振杰、李景广、那艳玲、黄保 民、李斌、关旭、贺克瑾、吕芳、嵇赞喆、高峰、王江标、刘冰、周远斌、杨智明、曹国 庆、李涛、陈雪芬、董书云),有的从事与本领域相关的设计与工程承包(朱楠城、 贾俊煋、姜汝嵩、刘传宝、于振率、李江),还有一批在海外任教、创业(费鹏、王 少杰、赵瑞明、周文忠、陈文浩、王良柱、冀英、张蕊、孔维秀).这本书中不少章 节都包含了他们的工作成果,天津大学和我都应该感谢他们所付出的劳动. 从科技...