GB/T 26111-2023 微机电系统（MEMS）技术 术语.pdf

ICS31.080.99 CCS L59 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T26111-2023 代替GB/T261112010 微机电系统(MEMS)技术术语 Micro-electromechanical system technology-Terms (IEC 62047-1:2016 Semiconductor devices-Micro-electromechanical devices-Part 1:Terms and definitions MOD) 2023-05-23发布 2023-09-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T26111-2023 目 次 前言 Ⅲ 1范围 1 2规范性引用文件 1 3术语和定义 3.1通用术语和定义 1 3.2与科学和工程有关的术语和定义 2 3.3与材料科学有关的术语和定义 3 3.4与功能元件有关的术语和定义 3.5与加工技术有关的术语和定义 ...7 3.6与键合和装配技术有关的术语和定义 12 3.7与测量技术有关的术语和定义 14 3.8与应用技术有关的术语和定义15 附录A(资料性)本文件与GB/T26111一2010相比的主要技术变化18 参考文献 26 索引 27 I ...