SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式 PECVD 设备.pdf

ICS31.550 CCS L95 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11829.1—2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相 淀积(PECVD)设备 第1部分：管式PECVD设备 Plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD)equipment used for crystalline silicon photovoltaic cells-—Part1:Tubular PECVD equipment 2022-10-20发布 2023-01-01实施 SJ 中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T11829.1-2022 目次 前言 III 1范围 2规范性引用文件 . 3术语和定义.. 4型号命名. 2 5工作环境和工作条件 3 D 6要求.... N 3 7检验方法 USTRY INFORMATION 5 8检验规则 10 9标志、包装 和 11 SJ STANDARDS ...