ICS31.200 CCS L 56 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T20870.10-2023/IEC60747-16-10:2004 半导体器件第16-10部分: 单片微波集成电路技术可接收程序 Semiconductor devices-Part 16-10:Technology Approval Schedule for monolithic microwave integrated circuits (IEC60747-16-10:2004 IDT) 2023-09-07发布 2024-01-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T20870.10-2023/IEC60747-16-10:2004 目 次 前言 引言 1范围 1 2规范性引用文件1 3术语、定义和缩略语 2 3.1单位、符号和术语2 3.2标准值和优选值 ..2 3.3术语和定义 .2 3.4缩略语 ..3 3.5关于技术可接收程序范围的定义 4 4器件技术的定义 4 4.1器件技术的范围 4 4.2活动说明及流程图 5 4.3技术摘要 6 4.4分包商控制要求8 5MMIC的器件设计 8 5.1MMIC的器件设计范围 .8 5.2活动说明及流程图 9 5.3接口 10 5.4过程的确认与控制 12 6掩模制造 13 6.1掩模制造的范围 .13 6.2活动说明及流程图 13 6.3工艺的确认和控制 13 6.4分包商、供应商和内部供方 13 7MMIC的晶圆制造 13 7.1MMIC的晶圆制造范围13 7.2活动说明和流程图 14 7.3设备 16 7.4材料17 7.5返工 17 7.6工艺的确认方法和控制17 7.7相互关系 18 I GB/T20870.10-2023/IEC60747-16-10:2004 8MMIC的晶圆测试 18 8.1MMIC的晶圆测试的范围 18 8.2活动说明和流程图 19 8.3设备 19 8.4测试程序19 8.5相互关系 .20 9裸芯片交付的背面工艺 20 9.1裸芯片交付的背面工艺的范围 20 9.2活动说明和流程图 20 22 9.3设备 9.4材料 22 9.5工艺的确认方法和控制 22 9.6相互关系 22 9.7放行的有效性 23 10MMIC组装 23 ...
推荐内容/By 图集吧
- CNAS-GI012:2024 氢能储运设备领域检验机构认可指南.pdf
- 高清正式版 DL/T 768.1-2017 电力金具制造质量 第1部分:可锻铸铁件.pdf
- 完整版 中华人民共和国 核安全公约.pdf
- GB/T 27021.10-2021 合格评定 管理体系审核认证机构要求 第10部分:职业健康安全管理体系审核与认证能力要求.pdf
- GB/T 19013-2021 质量管理 顾客满意 组织外部争议解决指南.pdf
- GB/T 7251.4-2017 低压成套开关设备和控制设备 第4部分:对建筑工地用成套设备(ACS)的特殊要求.pdf
- 正式版 GB/T 7251.10-2014 低压成套开关设备和控制设备 第10部分:规定成套设备的指南.pdf
- 正式版 GB/T 786.2-2018 流体传动系统及元件 图形符号和回路图 第2部分:回路图.pdf
- GB/T 14048.18-2016 低压开关设备和控制设备 第7-3部分:辅助器件 熔断器接线端子排的.pdf
- GB/T 14048.19-2013 低压开关设备和控制设备 第5-7部分:控制电路电器和开关元件 用于带.pdf
- GB/T 14048.17-2008 低压开关设备和控制设备 第5-4部分 控制电路电器和开关元件 小容量触头的性能评定方法 特殊试验.pdf
- GB/T 14048.16-2016 低压开关设备和控制设备 第8部分:旋转电机用装入式热保护(PTC)控制单元.pdf