ICS13.030.20 CCS Z05 团 体 标 准 T/CSES122—2023 再生水利用电子级水水源水质 Guidelines for water reuse Electronic Grade Ultrapure Water Source 2023-12-20发布 2023-12-20实施 中国环境科学学会 发布 T/CSES122-2023 目次 前言 ......II 引言 ...................III 1范围. 2规范性引用文件1 3术语和定义, 1 4缩略语....... 2 5分级和用途.......... 2 6水质控制项目及其限值............. 3 7处理流程与环节. 4 8安全与风险控制 4 9取样与检测........ .4 附录A(资料性)电子级水制备流程及制备环节和技术 5 附录B(资料性)高级处理技术选择... ....6 附录C(资料性)水质检测方法 7 参考文献. 8 I ...