T/ZSA 72-2019 碳化硅单晶.pdf

碳化硅,其他规范
文档页数:54
文档大小:4.46MB
文档格式:pdf
文档分类:其他规范
上传会员:
上传日期:
最后更新:

ICS29.045 H80/84 团 体 标 准 T/ZSA72-2019 碳化硅单晶 Monocrystalline Silicon Carbide 2019-12-31发布 2020-03-01实施 中关村标准化协会发布 T/ZSA72-2019 目 次 前言.. Ⅲ 引言 IV 1范围. 2规范性引用文件 3术语和定义 1 4产品分类 2 4.1分类. 4.2牌号 2 4.3规格.. 2 5技术要求. 5.1直径及允许偏差 2 5.2电阻率 3 5.3参考面取向和位置 5.4参考面长度 3 5.5晶向及正交取向偏离 3 5.6晶型 5.7晶体完整性 3 5.8高纯半绝缘晶体的体杂质含量 4 6试验方法 4 6.1直径 5 6.2电阻率 5 6.3晶向 5 6.4参考面取向 5 6.5参考面长度 5 6.6晶型 5 6.7晶体完整性 5 6.8高纯半绝缘晶体的体杂质含量 5 7检验规则 7.1检验与验收 5 7.2检验批 5 7.3检验项目 7.4抽样 6 7.5等级判定 6 7.6不合格品处置 6 7.7检验条件 6 8标志、包装、运输和贮存 6 8.1标志、合格证与质量保证书 6 I T/ZSA72-2019 8.2产品装箱 .7 8.3储存和运输 ..7 附录A(规范性附录)碳化硅单晶牌号规定 附录B(资料性附录)碳化硅晶片拉曼光谱检测方法 .9 附录C(资料性附录)碳化硅晶片摇摆曲线检测方法 .12 附录D(资料性附录)碳化硅晶片位错密度检测方法 15 ...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。

投稿会员:匿名用户
我的头像

您必须才能评论!

手机扫码、免注册、直接登录

 注意:QQ登录支持手机端浏览器一键登录及扫码登录
微信仅支持手机扫码一键登录

账号密码登录(仅适用于原老用户)